艾司摩尔的设备被指可制造用于“高价值武器系统和大规模杀伤性武器”的先进半导体。
由于担心半导体设备龙头艾司摩尔（ASML）的电脑芯片设备，会被中国用于军事目的，荷兰最近决定撤回艾司摩尔部分对华出口产品的许可证。
《路透社》报道，总部位于荷兰的艾司摩尔是欧洲最大科技公司，在全球光刻（Lithography，亦称微影制程）系统市场占据主导地位，电脑芯片制造商必须仰赖光刻系统来生产积体电路。
审批着眼于“不良最终用途风险”
荷兰贸易部长范吕文（Geoffrey van Leeuwen）在书面回应议员提问中表示，中国着眼于引进外国专业技术，包括荷兰在光刻领域的专业知识，以促进军事技术发展自给自足，而艾司摩尔的设备可制造用于“高价值武器系统和大规模杀伤性武器”的先进半导体，荷兰政府在审批出口许可时，会着眼于“不良最终用途的风险”。
被问到政府当初批出艾司摩尔向中国未公开的客户出口多种设备的许可证，为何后来又迅速撤回。范吕文未有正面回应，只谓自去年9月推出相关许可证规定以来，已多次批准向中国出口先进半导体设备，今年预计将接获约20宗同类申请，但无具体说明当中有多少来自中国。
在美国施压下，荷兰去年要求艾司摩尔出口中阶“深紫外光曝光机”（Deep Ultraviolet lithography, DUV）设备前必须申请许可，今年1月1日艾司摩尔证实，部分向中国出口芯片制造设备的许可证遭到撤销。艾司摩尔表示，根据相关规定，公司不会向中国出口任何NXT:2000i或更先进的设备，且由于美国的限制措施，公司也无法向“少数”中国厂商出口NXT:1970和NXT:1980i产品线。
