半导体设备禁令扩大！ ASML证实：这几款曝光机不能卖中国
▲荷兰扩大对中国半导体设备出口禁令。（示意图／翻摄自Pixabay图库）
荷兰为遏止中国研发14奈米以下先进制程芯片，扩大售中半导体设备出口禁令。荷兰半导体设备巨擘艾斯摩尔（ASML）证实，今年起NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三个型号，及后续推出的关键浸润式微影设备，都无法取得出口许可。同时，少部分中国晶圆厂也无法取得NXT:1970i和NXT:1980i两个型号曝光机。这意味部分中国晶圆厂，只能从ASML买到2013年首次出货的NXT:1965Ci型号曝光机，落后最先进的DUV曝光机NXT:2100i五代。
中国为因应芯片禁令，赶在限制措施实施前疯狂采购半导体设备。根据市场调查数据，中国在2023年采购ASML曝光机已超过300台，是2022年的3倍。初估2023年中国向ASML购买曝光机金额，介于80亿美元至100亿美元之间，年增3.2倍。
中国疯狂扫货迫使美国及荷兰政府出手补漏洞，ASML本应在今年向中国交付3台曝光机，出口许可在今年1月初被吊销，持续围堵中国半导体。
据了解，艾斯摩尔在24日举行年度会议上，财务长Roger Dassen证实，已和荷兰政府进行确认，2024年起ASML向中国出货的NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三个型号及后续推出的关键浸润式微影设备，都不会取得荷兰政府许可。
少部分中国晶圆厂也无法取得NXT:1970i和NXT:1980i两个型号曝光机的出口许可。据悉，ASML先前仅提及，NXT:1980i无法出口给部分中国晶圆厂，而NXT:1970i无法出口给中国是首次公开提出。
据中媒财新报导，NXT:1970i首次出货的时间是2013年，是2016年首次出货的NXT:1980i的上一代产品，这项禁令意味着，部分中国晶圆厂只能从ASML购得2013年首次出货的NXT:1965Ci型号曝光机，落后目前最先进的DUV曝光机NXT:2100i五代。
