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全球首块20厘米单晶金刚石晶圆问世

历经25年攻关,美企Diamond Foundry宣布全球第一块200毫米单晶金刚石晶圆诞生。这一突破打破了金刚石生长尺寸极限,未来或推进至300毫米,不仅有望解决AI芯片的极端散热难题,更将推动半导体和量子计算迈向大尺寸金刚石时代。

20多年前,当业界普遍认为单晶金刚石难以生长到大尺寸时,科学家Stefan Gsell和Martin Fischer开始了探索。他们在德国经历了无数次失败和重建机器,最终在2022年以名下公司的形式被收购、带着技术加入美国实验室培育公司 Diamond Foundry(钻石铸造厂)。

2026年11月5日,迎来了长达25年里程碑式的激动人心的高光时刻:Diamond Foundry宣布全球第一块200毫米单晶金刚石晶圆正式问世。

这块晶圆看上去就像是一块巨大的、略带浑浊的玻璃圆盘,它还没有经过抛光处理,表面还不够光滑,甚至透着一些工业制造的粗糙感。但是,正是这块看上去不那么起眼的材料,打破了半导体行业几十年来对于金刚石尺寸的一贯认知,让单晶金刚石正式跨入大尺寸晶圆时代。

这得从我们使用手机或者电脑运行大型游戏说起,我们在使用时经常会感觉设备发烫,甚至因为过热而卡顿降频。在人工智能飞速发展的今天,那些在数据中心里日夜不停运转的AI芯片,功率密度越来越高,发热量越来越惊人。传统的硅材料与铜材,已经越来越难以把这些热量快速地散发出去。

在寻找终极散热材料的通路上,科学家看中了金刚石的导热性。作为自然界中导热性能最好的物质,它的导热能力要远超过铜。除散热外,金刚石还具备非常高的机械强度、出色的绝缘性以及优异的光学特性。

但是在过去的几十年里,科学家们一直面临着一个巨大的障碍,那就是尺寸。天然金刚石的形成完全依赖严苛的地质条件,产量非常稀少且体积很小。在实验室里研制出来的金刚石,虽然纯度很高,但很难做大,往往只能长到指甲盖尺寸。金刚石虽然一直被用于切割、研磨和钻探等工业领域,但若要更广泛地用于半导体制造,还需要解决尺寸、质量、加工难度和成本等问题。

为了把金刚石变成工业界能够在工厂里批量制造的基础材料,科学家们进行了一系列的努力。在半导体行业里,晶圆的尺寸通常代表着制造的效率和成本。硅片从早期的较小尺寸一路发展到目前的300毫米大圆盘,每一次尺寸的变大,都意味着能够在同一块材料上切出更多的芯片,从而有效降低单颗芯片的成本。

金刚石却一直卡在生长的极限里。要让金刚石的碳原子在极高的温度和复杂的环境中,排列成完全统一的单一晶格,并且还得保证它在宏观尺度上不发生碎裂,这就好比在没有现成图纸的情况下搭建一座错综复杂的摩天大楼。

如今,这项曾被认为不可能完成的技术任务,在 Diamond Foundry团队的坚持下成为了现实。该公司创始人 Martin Roscheisen在发布这块晶圆时感慨地说,这是一个曾经不可能完成的里程碑,数百名工程师、科学家以及技术人员,经历了无数次的实验失败、发明创造与机器重建,才积累了今天这一成果。

在这个过程中,物理、反应器工程以及工艺控制等技术都需要取得令人满意的突破。他们不仅要解决如何使金刚石长得更大,还要解决如何使其在生长过程中不产生缺陷,严格控制生长过程中的缺陷并保证大面积晶体的质量与一致性。

图|首颗直径200毫米的单晶钻石,未经抛光、未经加工(来源:Diamond Foundry)

而实现200毫米尺寸的意义,在于使其成功满足了半导体制造中对成熟工艺节点的晶圆尺寸要求。这意味着,目前的部分半导体制造设备,有望在经过调整后直接用于加工金刚石材料。更让人期待的是,该公司还表示这一突破让300毫米晶圆工艺的实现变得可以预期。按照他们的规划来看,2030年之前将有望造出300毫米尺寸的单晶晶圆,从而能够与当前最先进的半导体芯片尺寸完全对齐。

讲完了尺寸,再来看看这块晶圆到底能够用来做什么。Diamond Foundry看重的重要应用方向之一,是利用金刚石帮助高性能芯片,包括未来用于 AI处理器的热管理。当代的高性能处理器把多层的计算单元封装在极小的区域里,热量高度集中,如果不及时散出,芯片就会降速甚至会被烧毁。

金刚石卓越的导热能力可以在芯片底部把热量迅速摊开,降低局部过热的峰值温度,从而为芯片设计提供更大的空间。它能让工程师设计功耗更高、性能更强、可靠性更好的芯片,同时也为现有的散热器系统减轻了负担。

(来源:Diamond Foundry)

事实上,已经有不少企业在这个方向上布局,比如有公司获得了资金支持研发将芯片与合成金刚石结合的技术,也有传统钻石行业在研究金刚石铜复合材料,大家都在尝试利用高精度金刚石技术来应对AI时代的算力散热危机。

除了散热之外,金刚石在电子性能上也具备极大的潜力。它能够在极高的电压和频率下工作,同时又具备极好的绝缘性,这使得它非常适合用于高功率的电力电子器件,或者下一代的高频通信设备。

在量子计算领域,金刚石内部的某些微小缺陷被称为氮-空位色心(NV色心),这些色心在室温下能够保持量子相干性,是构建量子比特的重要候选材料之一。当金刚石像硅片一样被大规模制造时,这些原本停留在实验室前沿的物理构想,便有了走向工程化和商业化的可能,把那些以前只能在影视作品里看到的装置,一点点变成真正的工业产品。

(来源:Diamond Foundry)

当然,从晶圆生长的毛坯状态,到最终装进电脑或服务器里的芯片,中间还有很长的路要走。目前切割的这块工件还是未经过抛光的粗糙状态,材料表面不够平坦,需要进行精密的加工。

在极端严苛的工艺要求下,如何在一块大的单晶材料上进行均匀的掺杂,如何通过光刻技术在金刚石表面雕刻出复杂的电路图形,这些问题都需要产业界在未来的几年里逐步解决。但第一步的跨越已经足够了。这一成果显示,将单晶金刚石生长至更大的尺寸完全具备可行性。只要找到正确的物理和工程方法,材料学的边界就能被拓宽。

人类使用工具的历史,很大程度上就是一部材料进化的历史。从石器到青铜,从钢铁到硅,每一次基础材料的突破,都会引发整个社会生产方式的变革。半导体行业之所以能够发展至今,正是因为人类不断把最普通的沙子提纯成为了推动现代文明的硅。

如今,科学家们将金刚石从珠宝首饰的展示柜里解放,变成科技基础设施里的核心部件。回想这件事,德国科学家二十多年的坚持,所展现出的长期主义精神在快节奏的现代社会里显得尤为珍贵。也许在未来的某一天,我们使用的电子设备里,就贴着这样一块由人造金刚石制成的薄膜,它们可以带走致命的余热,让算力能够实现无顾忌的狂奔。

责任编辑: 宁成月  来源:MIT科技评论 转载请注明作者、出处並保持完整。

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