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国产曝光机被誉打破「晶片荒」 媒体:驴吹成马

中美贸易战爆发以来,芯片生产技术一直为各界焦点,中国科学院研制的「超分辨曝光装备」日前通过验收,曝光分辨力达到22奈米,不少陆媒以「国产光刻机伟大突破,国产芯片白菜化在即」和「厉害了我的国,新式光刻机将打破『芯片荒』」之类为题,庆祝中国大陆不再受制于人。

中美贸易战爆发以来,芯片生产技术一直为各界焦点,中国科学院研制的「超分辨曝光装备」日前通过验收,曝光分辨力达到22奈米,不少陆媒以「国产光刻机伟大突破,国产芯片白菜化在即」和「厉害了我的国,新式光刻机将打破『芯片荒』」之类为题,庆祝中国大陆不再受制于人。

然而「科技日报」却刊文批评,有些传播者为吸引眼球、赚钱,最爱制造「自嗨文」和「吓尿体」,听到国产科技成就先往大里吹,驴吹成马,马吹成骆驼,好卖个骆驼价。

报导指出,就芯片制作而言,光刻机(曝光机)作用在于「印刷」电路,就像照相,图像投在感光底片上,蚀掉一部份,自曝光技术面世半个多世纪以来,为了节省能源和所需矽料,芯片愈做愈小,致使投影刻划难度愈来愈高,因而催生顶尖曝光机利用波长13.5奈米的极紫外光源,以刻划10奈米以下的线条。

报导认为,要制造稳定而大功率的「极紫外光」(EUV),每个光源需耗资人民币3000万元,至于顶尖「极紫外光」(EUV),更有一部卖一亿美金之誉,相关技术目前由荷兰ASML公司独家垄断。

有见及此,中科院研制曝光机,利用「表面等离子体」曝光法,在通行奈米光学技术外另辟蹊径,「用便宜光源实现较高的分辨率」。

报导引述科学家杨勇解说原理:「拿一块金属片和非金属片亲密接触,界面上有一些乱蹦的电子;光投影在金属上,这些电子就有序地震荡,产生波长几十奈米的电磁波,可用来曝光。」

不过这种这种电磁波很弱,需要「曝光胶」材料得凑近了,才能刻出来,且加工精度及不上市面「极紫外曝光机」,无法刻出几十奈米级的芯片。

报导最后结论,中科院的22奈米解析度曝光机,跟ASML垄断的曝光机不是一回事,说前者弯道超车,就好像说大陆出了个竞走名将,要超越牙买加短跑运动员博尔特。

国产曝光机被誉打破「芯片荒」,却遭打脸是「驴吹成马」。

责任编辑: 秦瑞  来源:联合报记者林宸谊 转载请注明作者、出处並保持完整。

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